· 洁净环境的原则和规则
· 使用到米思米商品的洁净环境应对措施
· 技术讲座
使用到米思米商品的洁净环境应对措施
使用到HEPA过滤器和ULPA过滤器的洁净棚的设计
HEPA过滤器（高性能过滤器）： | 采用额定流量，对于粒径为0.3mm的粒子，具有99.9%以上的粒子捕集率。而且，还具有初始压力损失在 以下的性能的过滤器（JIS标准） |
ULPA过滤器（超高性能过滤器） | 采用额定流量，对于粒径为0.15mm的粒子，具有99.9995%捕集率。而且，还具有初始压力损失在245Pa能的过滤器（JIS准） |
准HEPA过滤器 | 采用额定流量，对于粒径为0.3mm的粒子，具有95%以上的粒子捕集率的过滤器（自行制定的标准） |
HEPA过滤器：
根据所需的级别计算出风量，由此来选择过滤器。风量(m3/min)x60min=每小时的换气次数 X 空间的容量(m3) 。选择成为ISO・JIS 5级(美国联邦标准100级)的整个面层流的风量；
选择成为ISO・JIS 6级(美国联邦标准1,000级) 换气次数80次的风量；
选择成为ISO・JIS 7级(美国联邦标准10,000级) 换气次数50次的风量
选择成为ISO・JIS 8级(美国联邦标准100,000级) 换气次数20次的风量。
ULPA过滤器：
选择成为整个面层流的风量 ※ 根据换气次数而定的级别的定义，归根结底只是大致标准而已。建议使用粒子计数器，并根据实测值来下级别定义。
使用到涂覆有低起尘润滑脂的部件的驱动部设计
【封入有低起尘润滑脂的商品】
【润滑脂应对服务 G型(LG2 日本精工制)对象商品】
低起尘材料和机构的利用
